低溫等離子體VOCs治理技術
等離子體即是物質存在的固態、液態、氣態三種狀態外的第四種狀態，其實質就是物質失去電子的原子核(一般是外層電子)和電子混合存在的一種狀態，廣泛存在于宇宙中，或者“超氣態”，也稱“電漿體”。
由于放電所處階段、放電形式及放電量的不同，通過適當的方式，使得放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，由于電子在整個原子體系中占比的質量微乎其微，由于離子的低溫，所以使得整個體系呈現低溫狀態，所以稱為冷低溫等離子體,同時該類等離子體又稱為非平衡等離子體。
處理后達到以下排放標準：
《大氣污染物綜合排放標準(GB 16297-1996)》
《廣東大氣污染物排放標準(DB44 27-2001)》
低溫等離子處理機理：
低溫等離子體去除污染物的過程比較復雜，其中包含物理、化學及多種其他未知的反應過程，但目前處理機理總體普遍認為由以下幾個過程構成：
過程一：高能電子的直接轟擊
通常等離子體中的電子能量平均在5-10eV左右，而大部分的污染物的分子鍵能不超過8eV(如O-O鍵能為5.12eV，O-OH鍵能5.10eV)，所以當電子轟擊到污染物分子時，會直接將污染物打碎。
過程二：O原子或臭氧的氧化
O2+e→2O
自然空氣中放電時，大氣中的氧氣會被電離(電子能量達到10eV時，空氣中的氧氣會被電離為等離子體，達到12.5eV時，氮氣會被電離)，電離后的氧氣以氧原子或者O3的形式存在，由于失去共價電子對，氧原子或者O3需要從外界其他物質中奪取電子形成穩定的化學鍵，而處于激發態的污染物分子是最好的奪取電子的對象，氧原子或者O3會從這些被激發的分子上奪取電子，從而氧化這些污染物。
過程三：OH自由基的氧化
H2O+e→OH+H
H2O+O→2OH
H+O2→OH+O
一般認為在空氣中適當的水分在電子的轟擊及電場的極化作用下，會造成OH自由基的產生，OH自由基在化學性質上表現為缺少一個電子組成穩定物質的基團，需要從其他物質上奪取一個電子來形成穩定的物質，并且表現的獲取電子的能力超過O3，即氧化性比O3更強，OH自由基會將激發態的污染物分子的電子奪走，進而氧化污染物(在水處理過程中著名的芬頓高級氧化法，便是利用OH自由基氧化高穩定性的環結構有機物)。所以適當的水分有利于處理能力的提升。
過程四：分子碎片+氧氣的反應
在過程一中的污染物分子由于受到電子轟擊，形成大量的分子碎片，這些分子碎片由于化學鍵需要電子來重新形成穩定的物質，此時空氣中的氧氣，氧原子，O3及OH自由基極易和這些分子碎片結合奪取電子，進而氧化處理掉這些分子碎片。
低溫等離子體工藝技術優點：
1.低溫等離子體技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染。
2.在等離子體中幾乎所有的廢氣分子都處于高激發態，反應活性都大幅度提高。
3.反應速度快，通常在數毫秒至數百毫秒內即可完成反應，使得處理設備體積小。
4.應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到國家標準。
5.等離子反應可以隨時開啟隨時停止，不需要預熱時間，對工況要求較低，特別適合非連續工作的場合廢氣處理。
6.反應物總體溫升低，一般低于5℃的溫升，熱損失很少。
工藝技術應用領域：
該工藝用于各類濃度的有機廢氣處理，可處理苯類、酮類、醇類、醚類、烷類及其混合類有機廢氣，主要用于化工、機械、電子、電器、涂裝、制鞋、橡膠、塑料、印刷、污水除臭、污泥烘干及各種工業生產車間產生的有害廢氣處理。
